ACM200电容薄膜真空计
ACM200 电容薄膜压力计，通常安装在真空腔体或管道上，读取实时压力，±15VDC的电源和0 - 10VDC信号输出的，广泛用于半导体工程和真空工业设备。
特点
直接测量方式测量压力
无关气体组分影响
可应用于腐蚀性气体环境，适合于各类制程应用
可搭配Atovac仪表，实时显示
测量范围从10E-4Torr至1000TOrr，覆盖大多数制程压力范围
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规格 |
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压力范围（满量程） |
1、2、10、100、1000 |
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低压力 |
0.01%满量程 |
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精度 |
±0.25%读数 可选：±0.15%读数 |
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温度效应 零点 跨度 |
0.002% 满量程/°C 0.02% 读数/°C |
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工作环境温度 |
0℃至50℃ |
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暴露于气体中的材料 |
铬镍铁合金 |
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泄漏率 |
1x10-8sec/sec He |
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大压力 |
310Kpa |
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电源要求 |
±15VDC (±5%) @ 35 mA |
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输出信号 |
0 to +10VDC ≥ 10K Ω load |
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法兰 |
8 VCR, NW16KF |
