1、噪音：真空泵运转时会发出噪音，若噪音过大，表明泵内部有故障或旧化，需要检修或更换部件。
2、抽真空效率：好的真空泵的抽真空效率应高，如产生真空的速度慢，说明泵的抽真空效率降低或泵被堵塞。
3、泵体温度：真空泵运转时，因摩擦、阻力、磨损等原因会产生热量，如果泵体表面温度过高，说明泵的散热不良或部件磨损、短路等故障。
4、水循环效果：真空泵需要通过水来冷却和润滑部件，若泵的水循环效果不佳，则泵的故障率会增加，甚至会导致泵的损坏。
5、泄漏情况：真空泵如有内部泄漏，会降低泵的抽真空效率，并且可能导致部件的短路、损坏等故障。
6、使用寿命：真空泵的使用寿命与泵的品质、使用环境、使用方式等都有关系，如泵的使用寿命较短，说明泵的品质较差。